简单翻译一下:
那么怎么用DUV来做出5nm的芯片呢? 简单来讲,就是通过升级多重曝光的先进封装工艺。
这样做最直接的体现就是良品率的直线下降。之前7nm的良品率也是千辛万苦才慢慢提升的。现在要攻关5nm,肯定要在其他方面下功夫。
这个具体怎么实现我也不懂,直接去问AI吧。
现在知道了。无非就是2关键点。
1 多重曝光,比如从2次增加到4次。
2 使用先进的光刻胶。