23Q4、24Q1收入持续高增，24Q1利润超预期。公司公告23年及24Q1业绩，倒推23Q4收入74.91亿元，同比增长60%，扣非净利润9.41亿元，同比增长50%；24Q1营收中值58.3亿元，同比增长50%，符合我们预期，扣非净利润中值10.65亿元，同比增长100%，超出我们预期，扣非净利率18.72%，同比增加4.5%，规模效应带来盈利能力持续增强。

下游晶圆厂持续扩产，平台化公司空间巨大。公司应用于集成电路领域的刻蚀、薄膜沉积、清洗和炉管等数十种核心工艺装备市场认可度持续提升，工艺覆盖度及市场占有率显著增长，产品销量快速增加。由于公司2023年新签订单超过300亿元，其中集成电路占比超过70%，2024年业绩将持续快速增长。24年存储等晶圆厂扩产确定性高，考虑到公司的宽产品线及高客户认可度，我们看好公司2024年新签订单继续实现高增长。

投资建议：我们预计公司24、25年利润55、75亿元，当前1500亿市值，对应27、20倍，买入评级。