【海通电子】中微公司:Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔
9日公司官微宣布MOCVD设备又一里程碑:今年6月正式发布的Prismo UniMax MOCVD设备订单超100腔。
设备主要用于氮化镓(GaN)基Mini LED外延片量产,Mini LED可被广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。
Prismo UniMax MOCVD设备为高性能Mini LED量产设计,通过创新的多区温度调节系统,能精确控制托盘局部区域温度,有助于更大程度上提升LED波长均匀性。
设备配置多达4个反应腔,每个反应腔可独立控制;785mm大直径石墨托盘,可同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,提高产能并有效降低Mini LED生产成本。
公司用于LED生产领域的MOCVD设备系列产品包括Prismo D-BLUE(2013年推出)、Prismo A7和PrismoHiT3以及Prismo UniMax。