清华大学论文显示同步辐射光源可作为光刻机的光源系统,刚刚开工建设的合肥先进光源是我国最先进的第四代同步辐射光源,国机通用作为合肥本地央企上市公司,为合肥光源提供冷却、温控等关键保障系统。
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